各有关企业：

      苏州集成电路高端材料基地项目主要生产大尺寸硅材料，由于产能扩张需要采购高端仪器仪表以及半导体设备，现面向园区征集相关企业，后续将组织产业链专场对接会，具体需求如下：

      一是晶体生长，设备包括直拉硅单晶炉、超导磁场等；

      二是晶片加工，设备包括滚圆机、截断机、自动粘棒机、多线切割机、倒角机、双面研磨机、减薄机、双面抛光机、边缘抛光机、单面抛光机、LPCVD、APCVD、退火炉、外延炉、真空包装机、激光打标机、过程槽式清洗机、单片预清洗机、单片最终清洗机、分选机、片盒清洗机、炉管清洗机等；

      三是晶片检测，设备包括显微镜、X射线定向仪、电阻率测试、少子寿命测试仪、体缺陷测试仪、铁铜含量测试仪、氧碳含量测试仪、边缘轮廓仪、膜厚测试仪、几何参数测试仪、表面颗粒度测试仪、外延电阻率测试仪、X射线透射形貌仪XRT、VPD、ICP-MS、表面质量检验设备、晶孔检验设备、离子色谱仪等；

      四是厂务辅助设备，包括化学品CDS、特气系统、尾气处理装置、空气颗粒度测试仪、水颗粒度测试仪、气体纯度监测系统、气体纯化器、真空泵等。

      申报方式：

      请意向企业填写附件，通过“苏州工业园区企业发展服务中心”官网（http://sme.sipac.gov.cn）—— 企业用户登录——业务征集平台， 选择 “苏州集成电路高端材料基地项目设备厂商征集”，点击报名进入填报页面，按要求提交。技术支持电话：4008696086

      产品征集截至9月9日（下星期二）17:00前。

      咨询电话：企业发展服务中心 67068000、67068047

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半导体产线设备摸排表xlsx